DIN 50451-3:2014
Ensayos de materiales para tecnología de semiconductores. Determinación de trazas de elementos en líquidos. Parte 3: Determinación de 31 elementos en ácido nítrico de alta pureza mediante ICP-MS.

Estándar No.

DIN 50451-3:2014

Fecha de publicación

2014

Organización

German Institute for Standardization

Estado

Remplazado por

DIN 50451-3:2014-11

Ultima versión

DIN 50451-3:2014-11

Reemplazar

DIN 50451-3:2003 DIN 50451-3:2012

DIN 50451-3:2014 Documento de referencia

• ASTM D5127-13 Guía estándar para agua ultrapura utilizada en las industrias electrónica y de semiconductores*， 2023-11-08 Actualizar
• DIN 32645:2008 Análisis químico - Límite de decisión, límite de detección y límite de determinación en condiciones de repetibilidad - Términos, métodos, evaluación
• DIN 50451-5:2010 Ensayos de materiales para la tecnología de semiconductores. Determinación de oligoelementos en líquidos. Parte 5: Directrices para la selección de materiales y pruebas de su idoneidad para aparatos de muestreo y preparación de muestras para la determinación de t.
• DIN 51009:2013 Análisis espectral atómico óptico: principios y definiciones.
• DIN EN ISO 1042:1999 Material de vidrio de laboratorio - Matraces aforados de una marca (ISO 1042:1998); Versión alemana EN ISO 1042:1999
• DIN EN ISO 1043-1:2012 Plásticos - Símbolos y términos abreviados - Parte 1: Polímeros básicos y sus características especiales (ISO 1043-1:2011); Versión alemana EN ISO 1043-1:2011
• DIN EN ISO 14644-1:1999 Salas blancas y entornos controlados asociados. Parte 1: Clasificación de la limpieza del aire (ISO 14644-1:1999); Versión alemana EN ISO 14644-1:1999
• DIN EN ISO 17294-2:2005 Calidad del agua - Aplicación de espectrometría de masas con plasma acoplado inductivamente (ICP-MS) - Parte 2: Determinación de 62 elementos (ISO 17294-2:2003); Versión alemana EN ISO 17294-2:2004
• DIN EN ISO 8655-2:2002 Aparato volumétrico de pistón. Parte 2: Pipetas de pistón (ISO 8655-2:2002); Versión alemana EN ISO 8655-2:2002
• DIN ISO 3696:1991 Agua para uso en laboratorios analíticos; especificaciones y métodos de prueba; idéntico a ISO 3696:1987
• DIN ISO 5725-2:2002 Exactitud (veracidad y precisión) de los métodos y resultados de medición. Parte 2: Método básico para la determinación de la repetibilidad y reproducibilidad de un método de medición estándar (ISO 5725-2:1994, incluido el corrigendum técnico 1:2002).
• DIN ISO 5725-4:2003 Exactitud (veracidad y precisión) de los métodos y resultados de medición. Parte 4: Métodos básicos para la determinación de la veracidad de un método de medición estándar (ISO 5725-4:1994)

DIN 50451-3:2014 Historia

• 2014 DIN 50451-3:2014-11 Ensayos de materiales para tecnología de semiconductores. Determinación de trazas de elementos en líquidos. Parte 3: Determinación de 31 elementos en ácido nítrico de alta pureza mediante ICP-MS.
• 2014 DIN 50451-3:2014 Ensayos de materiales para tecnología de semiconductores. Determinación de trazas de elementos en líquidos. Parte 3: Determinación de 31 elementos en ácido nítrico de alta pureza mediante ICP-MS.
• 2003 DIN 50451-3:2003 Ensayos de materiales para tecnología de semiconductores - Determinación de trazas de elementos en líquidos - Parte 3: Aluminio (Al), cobalto (Co), cobre (Cu), sodio (Na), níquel (Ni) y zinc (Zn) en ácido nítrico por ICP-MS