DIN 50451-5:2010
Ensayos de materiales para la tecnología de semiconductores. Determinación de oligoelementos en líquidos. Parte 5: Directrices para la selección de materiales y pruebas de su idoneidad para aparatos de muestreo y preparación de muestras para la determinación de t.
- Estándar No.
- DIN 50451-5:2010
- Fecha de publicación
- 2010
- Organización
- German Institute for Standardization
- Estado
- Remplazado por
- DIN 50451-5 E:2022-02
- Ultima versión
- DIN 50451-5:2022-08
- Reemplazar
- DIN 50451-5:2008
- Alcance
- Este documento proporciona una guía para la selección de materiales y la prueba de su idoneidad para aparatos de muestreo y preparación de muestras utilizados para la determinación de oligoelementos en productos químicos de alta pureza para tecnología de semiconductores. Es aplicable para determinaciones de oligoelementos en rangos de microgramos por kilogramo y nanogramos por kilogramo.
DIN 50451-5:2010 Documento de referencia
- DIN 50451-3 Ensayos de materiales para tecnología de semiconductores. Determinación de trazas de elementos en líquidos. Parte 3: Determinación de 31 elementos en ácido nítrico de alta pureza mediante ICP-MS.*， 2014-11-01 Actualizar
- DIN 50451-4 Ensayos de materiales para tecnología de semiconductores - Determinación de oligoelementos en líquidos - Parte 4: Determinación de 34 elementos en agua ultrapura mediante espectrometría de masas con plasma acoplado inductivamente (ICP-MS)
DIN 50451-5:2010 Historia
- 1970 DIN 50451-5:2022-08
- 1970 DIN 50451-5 E:2022-02
- 2010 DIN 50451-5:2010 Ensayos de materiales para la tecnología de semiconductores. Determinación de oligoelementos en líquidos. Parte 5: Directrices para la selección de materiales y pruebas de su idoneidad para aparatos de muestreo y preparación de muestras para la determinación de t.
- 1970 DIN 50451-5 E:2008-09
- 0000 DIN 50451-5:2008
