ASTM D5127-13
Guía estándar para agua ultrapura utilizada en las industrias electrónica y de semiconductores

Estándar No.

ASTM D5127-13

Fecha de publicación

2013

Organización

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Estado

Remplazado por

ASTM D5127-13(2018)

Ultima versión

ASTM D5127-13(2018)

Alcance

4.1 Esta guía recomienda la calidad del agua requerida para las industrias electrónica y microelectrónica. Se requiere agua de alta pureza para evitar la contaminación de los productos durante la fabricación, ya que la contaminación puede provocar un rendimiento bajo e inaceptable de los dispositivos electrónicos. 4.2 El rango de pureza del agua se define de acuerdo con el proceso de fabricación. Los tipos de agua ultrapura se definen según el ancho de línea del dispositivo. En todos los casos, las recomendaciones de calidad del agua se aplican en el punto de distribución. 4.3 Los límites de las impurezas están relacionados con las especificaciones de contaminación actuales y con los métodos analíticos disponibles (ya sea realizados en un laboratorio limpio adecuado o mediante instrumentación en línea). Los métodos en línea y fuera de línea se utilizan de acuerdo con la práctica actual de la industria. Es posible que se requiera la concentración de la muestra para medir las impurezas en los niveles indicados en la Tabla 1. TABLA 1 Requisitos para el agua en el punto de distribución en las industrias electrónica y de semiconductores A Parámetro Tipo E-1 Tipo E-1.1 Tipo E-1.2B Tipo E-1.3B Tipo E-2 Tipo E-3 Tipo E-4 Ancho de línea (micras) 1.0&#–0.5 0.35&#–0.25 0.18x2......

ASTM D5127-13 Documento de referencia

• ASTM D1129 Terminología estándar relacionada con el agua
• ASTM D1193 Especificación estándar para agua reactiva
• ASTM D1976 Método de prueba estándar para elementos en agua mediante espectroscopia de emisión atómica de plasma de argón acoplado inductivamente
• ASTM D2791 Métodos de prueba estándar para la determinación continua de sodio en agua
• ASTM D3919 Práctica estándar para medir oligoelementos en agua mediante espectrofotometría de absorción atómica en horno de grafito
• ASTM D4191 Método de prueba estándar para sodio en agua mediante espectrofotometría de absorción atómica
• ASTM D4192 Método de prueba estándar para potasio en agua mediante espectrofotometría de absorción atómica
• ASTM D4327 Método de prueba estándar para aniones en agua mediante cromatografía iónica con supresión química
• ASTM D4453 Práctica estándar para el manejo de muestras de agua ultrapura
• ASTM D4517 Método de prueba estándar para niveles bajos de sílice total en agua de alta pureza mediante espectroscopía de absorción atómica sin llama
• ASTM D5173 Método de prueba estándar para el monitoreo en línea de compuestos de carbono en agua mediante oxidación química, oxidación con luz ultravioleta, ambas o combustión a alta temperatura seguida de NDIR en fase gaseosa o conductividad electrolítica.
• ASTM D5196 Guía estándar para agua de grado biomédico
• ASTM D5391 Método de prueba estándar para conductividad eléctrica y resistividad de una muestra de agua fluida de alta pureza
• ASTM D5462 Método de prueba estándar para la medición en línea de oxígeno disuelto de bajo nivel en agua
• ASTM D5542 Métodos de prueba estándar para trazas de aniones en agua de alta pureza mediante cromatografía iónica
• ASTM D5544 Método de prueba estándar para la medición en línea de residuos después de la evaporación de agua de alta pureza
• ASTM D5673 Método de prueba estándar para elementos en agua mediante plasma acoplado inductivamente 8212; espectrometría de masas
• ASTM D5996 Método de prueba estándar para medir contaminantes aniónicos en agua de alta pureza mediante cromatografía iónica en línea
• ASTM D5997 Método de prueba estándar para el monitoreo en línea de carbono total, carbono inorgánico en agua mediante ultravioleta, oxidación de persulfato y detección de conductividad de membrana
• ASTM F1094 Métodos de prueba estándar para el monitoreo microbiológico del agua utilizada para procesar dispositivos electrónicos y microelectrónicos mediante válvula de muestreo de grifo de presión directa y mediante el método de bolsa de plástico preesterilizada

ASTM D5127-13 Historia

• 2018 ASTM D5127-13(2018) Guía estándar para agua ultrapura utilizada en las industrias electrónica y de semiconductores
• 2013 ASTM D5127-13 Guía estándar para agua ultrapura utilizada en las industrias electrónica y de semiconductores
• 2012 ASTM D5127-12 Guía estándar para agua ultrapura utilizada en las industrias electrónica y de semiconductores
• 2007 ASTM D5127-07 Guía estándar para agua ultrapura utilizada en las industrias electrónica y de semiconductores
• 1999 ASTM D5127-99 Guía estándar para agua ultrapura utilizada en la industria electrónica y de semiconductores