ASTM D5127-07
Guía estándar para agua ultrapura utilizada en las industrias electrónica y de semiconductores

Estándar No.

ASTM D5127-07

Fecha de publicación

2007

Organización

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Estado

Remplazado por

ASTM D5127-12

Ultima versión

ASTM D5127-13(2018)

Alcance

1.1 Esta guía proporciona recomendaciones para la calidad del agua relacionada con la fabricación de la industria electrónica y de semiconductores. Se describen seis clasificaciones de agua, incluida agua para anchos de línea tan bajos como 0,09 micrones. En todos los casos, las recomendaciones son para agua en el punto de distribución (POD). 1.2 Se utiliza agua para lavar y enjuagar los componentes semiconductores durante la fabricación. El agua también se utiliza para operaciones de limpieza y grabado, para producir vapor para la oxidación de superficies de silicio, para preparar fotomáscaras y para depositar materiales luminiscentes. Otras aplicaciones se encuentran en el desarrollo y fabricación de dispositivos de estado sólido, dispositivos de película delgada, láseres de comunicación, diodos emisores de luz, fotodetectores, circuitos impresos, dispositivos de memoria, dispositivos de tubos de vacío o dispositivos electrolíticos. 1.3 Usuarios que necesitan agua Para calidades diferentes a las descritas aquí se deben consultar otras normas de agua, como la Especificación D 1193 y la Guía D 5196.1.4. Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.

ASTM D5127-07 Documento de referencia

• ASTM D1129 Terminología estándar relacionada con el agua
• ASTM D1193 Especificación estándar para agua reactiva
• ASTM D1976 Método de prueba estándar para elementos en agua mediante espectroscopia de emisión atómica de plasma de argón acoplado inductivamente
• ASTM D2791 Métodos de prueba estándar para la determinación continua de sodio en agua
• ASTM D3919 Práctica estándar para medir oligoelementos en agua mediante espectrofotometría de absorción atómica en horno de grafito
• ASTM D4191 Método de prueba estándar para sodio en agua mediante espectrofotometría de absorción atómica
• ASTM D4192 Método de prueba estándar para potasio en agua mediante espectrofotometría de absorción atómica
• ASTM D4327 Método de prueba estándar para aniones en agua mediante cromatografía iónica con supresión química
• ASTM D4453 Práctica estándar para el manejo de muestras de agua ultrapura
• ASTM D4517 Método de prueba estándar para niveles bajos de sílice total en agua de alta pureza mediante espectroscopía de absorción atómica sin llama
• ASTM D5173 Método de prueba estándar para el monitoreo en línea de compuestos de carbono en agua mediante oxidación química, oxidación con luz ultravioleta, ambas o combustión a alta temperatura seguida de NDIR en fase gaseosa o conductividad electrolítica.
• ASTM D5196 Guía estándar para agua de grado biomédico
• ASTM D5391 Método de prueba estándar para conductividad eléctrica y resistividad de una muestra de agua fluida de alta pureza
• ASTM D5462 Método de prueba estándar para la medición en línea de oxígeno disuelto de bajo nivel en agua
• ASTM D5542 Métodos de prueba estándar para trazas de aniones en agua de alta pureza mediante cromatografía iónica
• ASTM D5544 Método de prueba estándar para la medición en línea de residuos después de la evaporación de agua de alta pureza
• ASTM D5673 Método de prueba estándar para elementos en agua mediante plasma acoplado inductivamente 8212; espectrometría de masas
• ASTM D5996 Método de prueba estándar para medir contaminantes aniónicos en agua de alta pureza mediante cromatografía iónica en línea
• ASTM D5997 Método de prueba estándar para el monitoreo en línea de carbono total, carbono inorgánico en agua mediante ultravioleta, oxidación de persulfato y detección de conductividad de membrana
• ASTM F1094 Métodos de prueba estándar para el monitoreo microbiológico del agua utilizada para procesar dispositivos electrónicos y microelectrónicos mediante válvula de muestreo de grifo de presión directa y mediante el método de bolsa de plástico preesterilizada

ASTM D5127-07 Historia

• 2018 ASTM D5127-13(2018) Guía estándar para agua ultrapura utilizada en las industrias electrónica y de semiconductores
• 2013 ASTM D5127-13 Guía estándar para agua ultrapura utilizada en las industrias electrónica y de semiconductores
• 2012 ASTM D5127-12 Guía estándar para agua ultrapura utilizada en las industrias electrónica y de semiconductores
• 2007 ASTM D5127-07 Guía estándar para agua ultrapura utilizada en las industrias electrónica y de semiconductores
• 1999 ASTM D5127-99 Guía estándar para agua ultrapura utilizada en la industria electrónica y de semiconductores