ISO 22278:2020
Cerámica fina (cerámica avanzada, cerámica técnica avanzada): método de prueba para determinar la calidad cristalina de una película delgada monocristalina (oblea) utilizando el método XRD con haz de rayos X paralelo
- Estándar No.
- ISO 22278:2020
- Fecha de publicación
- 2020
- Organización
- International Organization for Standardization (ISO)
- Ultima versión
- ISO 22278:2020
- Alcance
- Este documento especifica el método de prueba para medir la calidad cristalina de una película delgada monocristalina (oblea) utilizando el método XRD con haz de rayos X paralelo. Este documento es aplicable a todas las películas delgadas monocristalinas (oblea) a granel o Estructura de la capa epitaxial.
ISO 22278:2020 Historia
- 2020 ISO 22278:2020 Cerámica fina (cerámica avanzada, cerámica técnica avanzada): método de prueba para determinar la calidad cristalina de una película delgada monocristalina (oblea) utilizando el método XRD con haz de rayos X paralelo
