GB/T 39145-2020 (Versión en inglés)

Alcance: Esta norma especifica un método para determinar el contenido de elementos metálicos en la superficie de obleas de silicio mediante espectrometría de masas de plasma acoplado inductivamente. Esta norma es aplicable a la determinación de elementos traza metálicos como sodio, magnesio, aluminio, potasio, calcio, cromo, manganeso, hierro, cobalto, brocado, cobre y zinc en la superficie de obleas de silicio pulidas simples y obleas epitaxiales de silicio. El rango de medición es de 10 cm - 10 cm". Esta norma también es aplicable a la determinación del contenido de elementos traza metálicos en la superficie de obleas de silicio sin patrón, como obleas recocidas de silicio y obleas de difusión de silicio. Nota: El contenido de elementos metálicos en la superficie de Las obleas de silicio se miden en átomos por centímetro cuadrado.

GB/T 39145-2020 Documento de referencia

GB/T 14264 Materiales semiconductores-Términos y definiciones
GB/T 17433 Términos básicos para el análisis químico de productos metalúrgicos.
GB/T 19921 Método de prueba para partículas en superficies de obleas de silicio pulidas.
GB/T 25915.1 Salas blancas y ambientes controlados asociados. Parte 1: Clasificación de la limpieza del aire por concentración de partículas.*， 2021-08-20 Actualizar
GB/T 37837 Reglas generales para la espectrometría de masas de plasma acoplado inductivamente de cuadrupolo
GB/T 6624 Método estándar para medir la calidad superficial de láminas de silicio pulidas mediante inspección visual
JJF 1159 Especificación de calibración para espectrómetros de masas de plasma de acoplamiento inductivo cuadrupolo

2020 GB/T 39145-2020 Método de prueba para determinar el contenido de elementos metálicos superficiales en obleas de silicio: espectrometría de masas con plasma acoplado inductivamente