La composición química de la placa de tungsteno de pureza ultra alta para materiales objetivo. Las dimensiones y desviaciones permitidas de las placas de tungsteno de pureza ultra alta para materiales objetivo deben cumplir con los requisitos de los dibujos técnicos firmados por ambas partes. Los productos sin tolerancias deben cumplir con Capítulo 5 de GB/T1804-2000.Requisitos para la desviación f (precisión) en la Tabla 1, Tabla 2 y Tabla 3. El tamaño de grano de la placa de tungsteno de pureza ultraalta utilizada como material objetivo debe cumplir con los requisitos de la Tabla 2 y la distribución del tamaño de grano debe ser uniforme. La placa de tungsteno de pureza ultraalta utilizada como material objetivo no debe tener defectos como delaminación, grietas y poros en su interior. La densidad de las placas de tungsteno de pureza ultraalta utilizadas como materiales objetivo debe ser superior a 19,15 g/cm3, y el rango de fluctuación de densidad del mismo lote de placas de tungsteno no debe ser superior a 0,3 g/cm3. No se permite que la superficie de la placa de tungsteno de pureza ultraalta utilizada como material objetivo tenga defectos como sobrefusión, burbujas, delaminación, grietas y objetos incrustados. La rugosidad de la superficie Ra de la placa de tungsteno de pureza ultraalta utilizada como material objetivo no debe ser superior a 1,6 μm. Los requisitos especiales se determinarán mediante negociación entre el proveedor y el comprador.
T/CHBAS 17-2022 Historia
2022T/CHBAS 17-2022 Placa de tungsteno de ultra alta pureza para objetivo