EN 62047-17:2015 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 17: Método de prueba de abombamiento para medir las propiedades mecánicas de películas delgadas.
European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）
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EN 62047-17:2015
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IEC 62047-17:2015 especifica el método para realizar pruebas de abultamiento en la película independiente que está abultada dentro de una ventana. La muestra se fabrica con materiales de película estructural micro/nano, incluidas películas de metal, cerámica y polímero, para MEMS, micromáquinas y otros. El espesor de la película está en el intervalo de 0,1 µm. a 10 µ, y la anchura de la ventana de membrana rectangular y cuadrada y el diámetro de la membrana circular varían de 0,5 mm a 4 mm. Las pruebas se llevan a cabo a temperatura ambiente, aplicando una presión uniformemente distribuida a la muestra de película de prueba con ventana abultada. Con este método se pueden determinar el módulo de elasticidad y la tensión residual de los materiales de la película.
EN 62047-17:2015 Historia
2015EN 62047-17:2015 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 17: Método de prueba de abombamiento para medir las propiedades mecánicas de películas delgadas.