Especifica los términos y definiciones, clasificación, condiciones de uso, requisitos técnicos, métodos de prueba, reglas de inspección, marcado, embalaje, transporte y almacenamiento de fuentes de iones comúnmente utilizadas en procesos de tratamiento de superficies al vacío. Es adecuado para fuentes de iones comunes (en lo sucesivo denominadas fuentes de iones) utilizadas en procesos de tratamiento de superficies en entornos de vacío.
T/GVS 003-2021 Historia
2021T/GVS 003-2021 Fuente de iones para proceso de tratamiento de superficies al vacío.