BS EN ISO 23131:2022
Elipsometría. Principios

Estándar No.
BS EN ISO 23131:2022
Fecha de publicación
2023
Organización
British Standards Institution (BSI)
Estado
Remplazado por
BS EN ISO 23131:2022(2023)
Ultima versión
BS EN ISO 23131:2022(2023)
Alcance
Alcance Este documento especifica un método para determinar las constantes ópticas y dieléctricas en el rango espectral UV-VIS-NIR, así como los espesores de capa en el campo del control de producción en línea, el aseguramiento de la calidad y el desarrollo de materiales a través de laboratorios de pruebas acreditados. Es aplicable a sistemas de medición independientes. La presentación de la incertidumbre de los resultados se ajusta a la Guía ISO/IEC 98‑3.

BS EN ISO 23131:2022 Historia




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