T/CNIA 0141-2022
Determinación del contenido de impurezas metálicas en hidrógeno para la producción de polisilicio mediante espectrometría de masas con plasma acoplado inductivamente (Versión en inglés)

Estándar No.

T/CNIA 0141-2022

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

2022

Organización

Group Standards of the People's Republic of China

Ultima versión

T/CNIA 0141-2022

Alcance

Este documento especifica un método para determinar el contenido de sodio, magnesio, aluminio, calcio, cromo, manganeso, hierro, níquel, cobre, zinc, arsénico y titanio en gas hidrógeno utilizado para la producción de silicio policristalino mediante espectrometría de masas con plasma acoplado inductivamente (ICP- EM). .

T/CNIA 0141-2022 Historia

• 2022 T/CNIA 0141-2022 Determinación del contenido de impurezas metálicas en hidrógeno para la producción de polisilicio mediante espectrometría de masas con plasma acoplado inductivamente