GB/T 38446-2020
Tecnología de sistemas microelectromecánicos: métodos de prueba para medir la propiedad de tracción de películas delgadas en tiras (Versión en inglés)

Estándar No.

GB/T 38446-2020

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

2020

Organización

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Ultima versión

GB/T 38446-2020

Alcance

Esta norma especifica el método de prueba y el procesamiento de datos para las propiedades de tracción de las películas en tiras. Este estándar es aplicable a muestras con un espesor entre 50 nm y varias micras y una relación de longitud a espesor superior a 300, y también se puede utilizar para el control de calidad de estructuras de película delgada en forma de tira de productos MEMS.

GB/T 38446-2020 Documento de referencia

• GB/T 26111 Terminología técnica de sistemas microelectromecánicos (MEMS)*， 2023-05-23 Actualizar

GB/T 38446-2020 Historia

• 2020 GB/T 38446-2020 Tecnología de sistemas microelectromecánicos: métodos de prueba para medir la propiedad de tracción de películas delgadas en tiras