El sensor de gas MEMS descrito en este documento se integra y fabrica combinando materiales semiconductores sensibles al gas de microestructura nano con un calentador que utiliza tecnología MEMS e implementa la función de detección de concentración de gas en el chip de silicio para lograr un control de retroalimentación inteligente de los electrodomésticos.
T/CAB 0156-2022 Historia
2022T/CAB 0156-2022 Sensor de gas MEMS de óxido metálico para electrodomésticos inteligentes