Esta norma especifica los términos y definiciones, clasificación de productos, requisitos básicos, requisitos técnicos, métodos de prueba, reglas de inspección, embalaje, marcado, transporte y almacenamiento, y el contenido del formulario de pedido (o contrato) de obleas pulidas de monocristal de Czochralski de 200 mm fuertemente dopadas con fósforo. .y compromiso de calidad. Esta norma se aplica a las obleas pulidas de silicio monocristalino con un diámetro de 200 mm preparadas mediante el método Czochralski utilizando polisilicio de grado electrónico como materia prima principal. Los productos se utilizan principalmente como sustratos para obleas epitaxiales para circuitos integrados y dispositivos discretos.
T/ZZB 0648-2018 Historia
2018T/ZZB 0648-2018 Obleas pulidas de silicio Czochralski monocristalino fuertemente dopadas con fósforo de 200 mm