YS/T 1703-2024
Método de prueba para partículas en la superficie del cajón de wafers—Método de conteo de partículas líquidas (Versión en inglés)
- Estándar No.
- YS/T 1703-2024
- Idiomas
- Chino, Disponible en inglés
- Fecha de publicación
- 2024
- Organización
- Professional Standard - Non-ferrous Metal
- Ultima versión
- YS/T 1703-2024
- Alcance
- Este documento especifica el método para probar las partículas de la superficie de las cajas de embalaje de obleas utilizando un contador de partículas líquido. Este documento es aplicable a la prueba de limpieza de partículas de cajas de embalaje de obleas pulidas de silicio, obleas epitaxiales de silicio, obleas SOI y otras obleas semiconductoras (incluidas obleas simples de germanio, obleas simples de arseniuro de galio, obleas simples de fosfuro de indio, obleas simples de carburo de silicio, obleas simples de zafiro, etc.) con diámetros de 100 mm, 125 mm, 150 mm, 200 mm y 300 mm.
YS/T 1703-2024 Documento de referencia
- GB/T 11446.1-2013 Agua de grado electrónico
- GB/T 14264 Terminología de materiales semiconductores
- GB/T 25915.1-2021 Salas blancas y ambientes controlados asociados. Parte 1: Clasificación de la limpieza del aire por concentración de partículas.
YS/T 1703-2024 Historia
- 2024 YS/T 1703-2024 Método de prueba para partículas en la superficie del cajón de wafers—Método de conteo de partículas líquidas
Temas especiales sobre estándares y normas
Granularidad cristalina
Método de prueba del tamaño de partículas superficiales
partículas de cristal
Cuanto menor sea el tamaño del grano, menor será el tamaño del grano.
partículas de cristal
contador de partículas sólidas
grano de grano
grano de grano
partículas de superficie metálica
Cómo contar partículas
partículas de oblea de silicio
Detección de partículas superficiales
estándares y especificaciones
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