ISO 14644-10:2022 Salas blancas y entornos controlados asociados. Parte 10: Evaluación de la limpieza de superficies para detectar contaminación química. normas y especificaciones

Alcance: Este documento establece procesos de prueba apropiados para determinar la limpieza de superficies en salas blancas con respecto a la presencia de compuestos o elementos químicos (incluyendo moléculas, iones, átomos y partículas). Este documento es aplicable a todas las superficies sólidas en salas blancas y entornos controlados asociados, como paredes, techos, pisos, superficies de trabajo, herramientas, equipos y dispositivos. NO TA 1 A los efectos de este documento, sólo se consideran las características químicas de una partícula. No se consideran las propiedades físicas de la partícula y este documento no cubre la interacción entre la contaminación y la superficie. NO TA 2 Este documento no incluye el proceso de generación de contaminación ni ninguna influencia dependiente del tiempo (por ejemplo, deposición, sedimentación, envejecimiento) o actividades dependientes del proceso, como el transporte y la manipulación. Tampoco incluye orientación sobre técnicas estadísticas de control de calidad para garantizar el cumplimiento.

ISO 14644-10:2022 Historia

2022 ISO 14644-10:2022 Salas blancas y entornos controlados asociados. Parte 10: Evaluación de la limpieza de superficies para detectar contaminación química.
2013 ISO 14644-10:2013 Salas blancas y entornos controlados asociados. Parte 10: Clasificación de la limpieza de superficies por concentración química.