EN 62047-21:2014
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 21: Método de prueba para la relación de Poisson de materiales MEMS de película delgada

Estándar No.

EN 62047-21:2014

Fecha de publicación

2014

Organización

European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）

Ultima versión

EN 62047-21:2014

Alcance

IEC 62047-21:2014 especifica la determinación del índice de Poisson a partir de los resultados de las pruebas obtenidas mediante la aplicación de cargas uniaxiales y biaxiales a materiales de sistemas microelectromecánicos de película delgada (MEMS) con longitudes y anchos inferiores a 10 mm y espesores inferiores a 10. µm.

EN 62047-21:2014 Historia

• 2014 EN 62047-21:2014 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 21: Método de prueba para la relación de Poisson de materiales MEMS de película delgada