T/ZGM 014-2023 Especificaciones técnicas de certificación de productos de membranas de desgasificación para agua ultrapura en la industria de semiconductores. (Versión en inglés)
Esta norma especifica los requisitos técnicos y los métodos de prueba para la certificación de componentes de membranas desgasificadoras para la preparación de agua ultrapura en la industria de semiconductores. Esta norma se aplica a los componentes de membranas de desgasificación para la preparación de agua ultrapura en la industria de semiconductores. Estandariza el tamaño, el rendimiento, el material, los requisitos de limpieza y los métodos de prueba de los productos de membranas de desgasificación.
T/ZGM 014-2023 Historia
2023T/ZGM 014-2023 Especificaciones técnicas de certificación de productos de membranas de desgasificación para agua ultrapura en la industria de semiconductores.
2022T/ZGM 014-2022 Especificaciones técnicas para la certificación de conservación de energía para casetes de biorreactor de membrana de fibra hueca