NF C96-050-25*NF EN 62047-25:2016 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 25: tecnología de fabricación MEMS basada en silicio - Método de medición de la resistencia a la tracción y al corte del área de microunión
2016NF C96-050-25*NF EN 62047-25:2016 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 25: tecnología de fabricación MEMS basada en silicio - Método de medición de la resistencia a la tracción y al corte del área de microunión