T/ICMTIA TG0011-2022
Objetivos de pulverización catódica de aluminio y aleaciones de aluminio de alta pureza para circuitos integrados (Versión en inglés)

Estándar No.

T/ICMTIA TG0011-2022

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

2022

Organización

Group Standards of the People's Republic of China

Ultima versión

T/ICMTIA TG0011-2022

Alcance

Este documento especifica los requisitos técnicos, los métodos de detección, el embalaje y el transporte y los requisitos de seguridad para objetivos de pulverización catódica de aluminio y aleaciones de aluminio de alta pureza para circuitos integrados. Este documento se aplica a objetivos de aluminio y aleaciones de aluminio de alta pureza para la fabricación de circuitos integrados.

T/ICMTIA TG0011-2022 Historia

• 2022 T/ICMTIA TG0011-2022 Objetivos de pulverización catódica de aluminio y aleaciones de aluminio de alta pureza para circuitos integrados