GB/T 34894-2017 Tecnología de sistemas microelectromecánicos: método de medición para mediciones de gradiente de deformación de microestructuras MEMS utilizando un interferómetro óptico (Versión en inglés)
2017GB/T 34894-2017 Tecnología de sistemas microelectromecánicos: método de medición para mediciones de gradiente de deformación de microestructuras MEMS utilizando un interferómetro óptico