T/BSPT 002-2018 (Versión en inglés)

Alcance: La tecnología de irradiación con haz de iones puede hacer que los nanocables colimados o las nanopelículas planas se doblen o doblen en un espacio tridimensional debido a la tensión, lo que tiene un importante valor de aplicación en la construcción de micronanodispositivos electrónicos, dispositivos optoelectrónicos y componentes ópticos tridimensionales de alto rendimiento. . Esta norma proporciona especificaciones para un método de procesamiento para la construcción de nanoestructuras y dispositivos tridimensionales que utilizan tecnología de inducción de deformación por irradiación de haces de iones. La organización emisora de este documento llama la atención sobre el hecho de que al declarar el cumplimiento de este documento, puede implicar el control de la deformación de nanocables colimados o nanopelículas planas [Artículos 7.2 y 7.3]. El contenido específico y el número de patente son ZL201110113222.0[ Método de preparación de superconductores tridimensionales para micronano dispositivos] y el uso de patentes relacionadas con el número de patente ZL201210540870.9 [Método para preparar estructuras funcionales micronano autoportantes tridimensionales basadas en materiales de película delgada].

T/BSPT 002-2018 Historia

2018 T/BSPT 002-2018 Micro/nanofabricación La fabricación de nanoestructuras 3D formadas por tensión mediante irradiación con haz de iones.