GB/T 41751-2022
Método de prueba para determinar el radio de curvatura del plano cristalino en obleas de sustrato monocristalino de GaN (Versión en inglés)

Estándar No.
GB/T 41751-2022
Idiomas
Chino, Disponible en inglés
Fecha de publicación
2022
Organización
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Ultima versión
GB/T 41751-2022
Alcance
Este documento especifica el método para probar el radio de curvatura del plano cristalino de un sustrato monocristalino de nitruro de galio utilizando un difractómetro de rayos X de alta resolución. Este documento es aplicable a la prueba del radio de curvatura de la superficie cristalina de sustratos monocristalinos de nitruro de galio preparados mediante deposición química de vapor y otros métodos. La prueba del radio de curvatura de la superficie cristalina de obleas epitaxiales de nitruro de galio se puede llevar a cabo con referencia a este documento.

GB/T 41751-2022 Documento de referencia

  • GB/T 14264 Materiales semiconductores-Términos y definiciones

GB/T 41751-2022 Historia

  • 2022 GB/T 41751-2022 Método de prueba para determinar el radio de curvatura del plano cristalino en obleas de sustrato monocristalino de GaN



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