GB/T 41751-2022 Método de prueba para determinar el radio de curvatura del plano cristalino en obleas de sustrato monocristalino de GaN (Versión en inglés)
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Ultima versión
GB/T 41751-2022
Alcance
Este documento especifica el método para probar el radio de curvatura del plano cristalino de un sustrato monocristalino de nitruro de galio utilizando un difractómetro de rayos X de alta resolución. Este documento es aplicable a la prueba del radio de curvatura de la superficie cristalina de sustratos monocristalinos de nitruro de galio preparados mediante deposición química de vapor y otros métodos. La prueba del radio de curvatura de la superficie cristalina de obleas epitaxiales de nitruro de galio se puede llevar a cabo con referencia a este documento.
GB/T 41751-2022 Documento de referencia
GB/T 14264 Materiales semiconductores-Términos y definiciones
GB/T 41751-2022 Historia
2022GB/T 41751-2022 Método de prueba para determinar el radio de curvatura del plano cristalino en obleas de sustrato monocristalino de GaN