KS L ISO 21859-2023
Cerámica fina (cerámica avanzada, cerámica técnica avanzada): método de prueba para la resistencia al plasma de componentes cerámicos en equipos de fabricación de semiconductores.

Estándar No.

KS L ISO 21859-2023

Fecha de publicación

2023

Organización

KR-KS

Ultima versión

KS L ISO 21859-2023

KS L ISO 21859-2023 Historia

• 2023 KS L ISO 21859-2023 Cerámica fina (cerámica avanzada, cerámica técnica avanzada): método de prueba para la resistencia al plasma de componentes cerámicos en equipos de fabricación de semiconductores.