SJ/T 11829.2-2022
Equipo de deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD) para células fotovoltaicas de silicio cristalino Parte 2: Equipo de placa PECVD (Versión en inglés)

Estándar No.

SJ/T 11829.2-2022

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

2022

Organización

Professional Standard - Electron

Ultima versión

SJ/T 11829.2-2022

SJ/T 11829.2-2022 Historia

• 2022 SJ/T 11829.2-2022 Equipo de deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD) para células fotovoltaicas de silicio cristalino Parte 2: Equipo de placa PECVD