NF ISO 17560:2006 Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Determinación de boro en silicio mediante perfiles de espesor
Este estándar establece un método para determinar la dosis de boro en silicio mediante el análisis de espesor utilizando espectrometría de masas de iones secundarios. El documento proporciona instrucciones detalladas sobre la realización del análisis, incluyendo los procedimientos de preparación de muestras, condiciones de medición y criterios de interpretación de los resultados. Además, describe los requisitos técnicos necesarios para garantizar la precisión y la reproducibilidad del método. El estándar también aborda aspectos relacionados con la calibración de los equipos y la evaluación de la incertidumbre asociada a las mediciones. La información incluida está orientada a garantizar que los resultados obtenidos sean confiables y consistentes en diferentes entornos de aplicación.
*** Tenga en cuenta: esta descripción puede no ser precisa; consulte la documentación oficial.
NF ISO 17560:2006 Historia
2006NF ISO 17560:2006 Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Determinación de boro en silicio mediante perfiles de espesor