NF EN 62047-25:2016 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 25: tecnología de fabricación MEMS basada en silicio - Método para medir la resistencia a la tracción-compresión y al corte de una zona de microsoldadura
2016NF EN 62047-25:2016 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 25: tecnología de fabricación MEMS basada en silicio - Método para medir la resistencia a la tracción-compresión y al corte de una zona de microsoldadura