T/ICMTIA 4.2-2020
Monómero fotorresistente ArF para circuitos integrados Parte 2: Metacrilato sólido (Versión en inglés)

Estándar No.

T/ICMTIA 4.2-2020

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

2020

Organización

Group Standards of the People's Republic of China

Ultima versión

T/ICMTIA 4.2-2020

Alcance

Este documento especifica los términos y definiciones de monómeros fotorresistentes de fluoruro de argón para circuitos integrados, metacrilatos sólidos de la Parte 2, tipos de productos y características estructurales, requisitos técnicos, métodos de análisis y detección, requisitos de proceso, requisitos de embalaje, almacenamiento y transporte.

T/ICMTIA 4.2-2020 Historia

• 2020 T/ICMTIA 4.2-2020 Monómero fotorresistente ArF para circuitos integrados Parte 2: Metacrilato sólido