Esta norma especifica el método para inspeccionar visualmente la calidad de la superficie de las obleas pulidas de una cara de un solo cristal de silicio (en lo sucesivo denominadas obleas pulidas) bajo ciertas condiciones de iluminación. Esta norma se aplica a la inspección de la calidad de la superficie de obleas pulidas de silicio.
GB/T 6624-1995 Historia
2009GB/T 6624-2009 Método estándar para medir la calidad superficial de láminas de silicio pulidas mediante inspección visual
1995GB/T 6624-1995 Método estándar para medir la calidad superficial de láminas de silicio pulidas mediante inspección visual