JIS H 0614:1996
Inspección visual de obleas de silicio con superficies especulares

Estándar No.

JIS H 0614:1996

Fecha de publicación

1996

Organización

Japanese Industrial Standards Committee (JISC)

Ultima versión

JIS H 0614:1996

Alcance

Esta norma especifica la inspección visual de la superficie frontal (superficie del espejo y superficie posterior) de las obleas de silicio destinadas a formar dispositivos semiconductores, que tienen un acabado de espejo mediante pulido químico mecánico (en adelante, obleas).

JIS H 0614:1996 Historia

• 1996 JIS H 0614:1996 Inspección visual de obleas de silicio con superficies especulares