Esta norma especifica los requisitos técnicos, métodos de inspección, embalaje y marcado del nitrógeno líquido y gaseoso utilizado en la industria electrónica. Es aplicable al nitrógeno obtenido de la separación del aire o de la reducción de amoníaco y utilizado para la purificación, cobertura y protección en la fabricación de VLSI. , presurización y también se utiliza como gas portador durante la deposición química de vapor. El nitrógeno es químicamente inerte, no inflamable y es un gas asfixiante. Fórmula molecular: N2. Masa molecular relativa: 28,0134 (según la masa atómica relativa internacional en 1991).
GB/T 16944-1997 Historia
2009GB/T 16944-2009 Gas para industria electrónica.Nitrógeno
1997GB/T 16944-1997 Gases para la industria electrónica--Nitrógeno