General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Ultima versión
GB/T 16880-1997
Alcance
El alcance de esta guía es desarrollar terminología estándar para la clasificación de defectos de fotomáscara y especificar la expresión del tamaño del defecto. Esta pauta se debe seguir al identificar defectos de fotomáscara.
GB/T 16880-1997 Historia
1997GB/T 16880-1997 Directrices para la clasificación de defectos de fotomáscara y la definición de tamaño.