GB/T 16878-1997
Especificación para celdas de patrón de metrología para la fabricación de circuitos integrados. (Versión en inglés)

Estándar No.: GB/T 16878-1997
Idiomas: Chino, Disponible en inglés
Fecha de publicación: 1997
Organización: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Ultima versión: GB/T 16878-1997

Alcance: Esta especificación especifica varios patrones de prueba estándar para la evaluación y prueba consistentes y completas de equipos micrográficos, instrumentos de metrología y procesos utilizados en la producción de circuitos integrados. Esta especificación especifica la forma, el tamaño general y las reglas de diseño y disposición recomendadas de varias unidades de patrón de prueba básicas para las necesidades de medición del ancho de línea, prueba de resolución y prueba de efecto de proximidad. Estos patrones estándar incluyen varios elementos de patrón disponibles para mediciones con microscopio óptico, microscopio electrónico y sonda electrónica. Esta especificación no especifica la tecnología de medición para verificar las dimensiones críticas del patrón de prueba en el maestro, ni especifica cómo medir el patrón fotolitográfico en la oblea. Solo especifica varios patrones de prueba básicos necesarios y el patrón de prueba real que el usuario implementa de acuerdo con esta especificación.

GB/T 16878-1997 Historia

1997 GB/T 16878-1997 Especificación para celdas de patrón de metrología para la fabricación de circuitos integrados.