GB/T 17864-1999
Procedimientos de metrología CD (Versión en inglés)
- Estándar No.
- GB/T 17864-1999
- Idiomas
- Chino, Disponible en inglés
- Fecha de publicación
- 1999
- Organización
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Ultima versión
- GB/T 17864-1999
- Alcance
- El propósito de esta norma es especificar un método uniforme para que el sistema de metrología mida la precisión del tamaño del patrón de CD en el proceso de fotolitografía. Esta norma no aborda cómo utilizar estos sistemas de metrología para resolver problemas, ni aborda cambios en otros factores que influyen en el proceso, como el tratamiento térmico de obleas, el control de enfoque de las máquinas de exposición y los materiales. La metrología o medición es fundamental en las actividades productivas. Primero confíe en su monitoreo para establecer una capacidad de producción factible y luego utilícelo para verificar si el producto cumple con las especificaciones o los indicadores de diseño. El parámetro discutido en esta norma es la precisión. Otros parámetros importantes, como la fiabilidad y la linealidad, están cubiertos en otras normas. Esta norma describe cómo determinar el rendimiento de los sistemas de metrología/medición en la aplicación muy específica de la fotolitografía en la fabricación de obleas de circuitos integrados. Esta norma también es aplicable al proceso de fabricación de máscaras IC. En este momento, la "oblea grande" del estándar se puede reemplazar por "máscara". Es necesario medir las propiedades eléctricas de la oblea IC terminada. Pero las mediciones en medio del proceso de litografía ayudan a predecir y controlar el rendimiento del producto final. Esta norma se aplica a las mediciones intermedias de fotolitografía y a las mediciones de productos terminados, pero no tiene nada que ver con la tecnología de proceso específica utilizada. Los resultados de las mediciones y el rendimiento del sistema dependen de la muestra utilizada. Por lo tanto, el desempeño de diferentes sistemas o el desempeño del mismo sistema en diferentes momentos sólo se puede comparar adecuadamente cuando las mediciones se realizan en una muestra de la misma composición de material.
GB/T 17864-1999 Historia
- 1999 GB/T 17864-1999 Procedimientos de metrología CD
