GB/T 17874-1999
Gases para la industria electrónica--Tricloruro de Boro (Versión en inglés)
- Estándar No.
- GB/T 17874-1999
- Idiomas
- Chino, Disponible en inglés
- Fecha de publicación
- 1999
- Organización
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Estado
- 2011-05
- Remplazado por
- GB/T 17874-2010
- Ultima versión
- GB/T 17874-2021
- Alcance
- Esta norma especifica los requisitos, métodos de inspección, reglas de inspección, embalaje, marcado, transporte, almacenamiento y requisitos de seguridad para el gas tricloruro de boro utilizado en la industria electrónica. Esta norma es aplicable al tricloruro de boro obtenido utilizando tricloruro de boro crudo como materia prima y purificado mediante métodos de adsorción y destilación. Se utiliza principalmente en la difusión, implantación de iones y métodos secos utilizados en la producción de dispositivos semiconductores de silicio y circuitos integrados en la industria electrónica. Grabado y otros procesos.
GB/T 17874-1999 Historia
- 2021 GB/T 17874-2021 Gas especial para electrónica: tricloruro de boro
- 2011 GB/T 17874-2010 Gases para la industria electrónica.Tricloruro de boro
- 1999 GB/T 17874-1999 Gases para la industria electrónica--Tricloruro de Boro
