GB/T 18682-2002
Especificaciones de las películas de TiN por deposición física de vapor. (Versión en inglés)

Estándar No.

GB/T 18682-2002

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

2002

Organización

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Ultima versión

GB/T 18682-2002

Alcance

Esta norma especifica los requisitos técnicos para la deposición física de vapor de películas delgadas de TiN. Esta norma se aplica a la deposición física de vapor de películas delgadas de TiN y también a las películas delgadas de TiN preparadas mediante otros métodos. Esta norma también se aplica a otras capas de deposición de materiales (TiC, TiCN, TiAIN, etc.).

GB/T 18682-2002 Historia

• 2002 GB/T 18682-2002 Especificaciones de las películas de TiN por deposición física de vapor.