ISO 18516:2006
Análisis químico de superficies - Espectroscopia de electrones Auger y espectroscopia de fotoelectrones de rayos X - Determinación de la resolución lateral
- Estándar No.
- ISO 18516:2006
- Fecha de publicación
- 2006
- Organización
- International Organization for Standardization (ISO)
- Estado
- Remplazado por
- ISO 18516:2019
- Ultima versión
- ISO 18516:2019
- Alcance
- Esta norma internacional describe tres métodos para medir la resolución lateral alcanzable en espectrómetros de electrones Auger y espectrómetros de fotoelectrones de rayos X en configuraciones definidas. El método de regla es adecuado para instrumentos donde se espera que la resolución lateral sea superior a 1 µm. El método de la cuadrícula es adecuado si se espera que la resolución lateral sea inferior a 1 µm pero superior a 20 nm. El método Goldisland es adecuado para instrumentos en los que se espera que la resolución lateral sea inferior a 50 nm. Los anexos A, B y C proporcionan ejemplos ilustrativos de la medición de la resolución lateral.
ISO 18516:2006 Documento de referencia
ISO 18516:2006 Historia
- 2019 ISO 18516:2019 Análisis químico de superficies: determinación de la resolución lateral y la nitidez en métodos basados en haces con un rango de nanómetros a micrómetros.
- 2006 ISO 18516:2006 Análisis químico de superficies - Espectroscopia de electrones Auger y espectroscopia de fotoelectrones de rayos X - Determinación de la resolución lateral
