BS DD ISO/TR 15969:2001
Análisis químico de superficies - Perfilado de profundidad - Medición de la profundidad de pulverización catódica

Estándar No.

BS DD ISO/TR 15969:2001

Fecha de publicación

2001

Organización

British Standards Institution (BSI)

Ultima versión

BS DD ISO/TR 15969:2001

Alcance

Este Informe Técnico brinda pautas para medir la profundidad de pulverización catódica en perfiles de profundidad de pulverización catódica. Los métodos de medición de la profundidad de la pulverización catódica descritos en este Informe técnico son aplicables a técnicas de análisis químico de superficies cuando se utilizan en combinación con bombardeo iónico para la eliminación de una parte de una muestra sólida hasta una profundidad de pulverización típica de hasta varios micrómetros.

BS DD ISO/TR 15969:2001 Historia

• 2021 BS PD ISO/TR 15969:2021 Análisis químico de superficies. Perfilado de profundidad. Medición de la profundidad pulverizada
• 2001 BS DD ISO/TR 15969:2001 Análisis químico de superficies - Perfilado de profundidad - Medición de la profundidad de pulverización catódica