ISO 17974:2002
Análisis químico de superficies - Espectrómetros de electrones Auger de alta resolución - Calibración de escalas de energía para análisis elemental y de estados químicos

Estándar No.

ISO 17974:2002

Fecha de publicación

2002

Organización

International Organization for Standardization (ISO)

Ultima versión

ISO 17974:2002

Alcance

Esta norma internacional especifica un método para calibrar las escalas de energía cinética de los espectrómetros de electrones Auger utilizados para el análisis de estados elementales y químicos en superficies. También especifica un programa de calibración para probar la linealidad de la escala de energía cinética en una energía intermedia, para confirmar la incertidumbre de la calibración de la escala en un valor de energía cinética alto y bajo, para corregir pequeñas derivas de esa escala y para definir la incertidumbre expandida. de la calibración de la escala de energía cinética con un nivel de confianza del 95 % (esta incertidumbre incluye contribuciones para comportamientos observados en estudios interlaboratorios pero no cubre todos los defectos posibles). Es aplicable únicamente a aquellos instrumentos que incorporan una pistola de iones para limpieza por pulverización catódica. No es aplicable a instrumentos con errores de escala de energía cinética significativamente no lineales con la energía. Tampoco es aplicable a aquellos instrumentos operados a resoluciones relativas inferiores al 0,2 % en el modo constante △EIE o 1,5 eV en el modo constante △E, los que requieren límites de tolerancia de ±0,05 eV o menos, ni a aquellos con un cañón de electrones que no puede funcionar en el rango de energía de 5 keV a 10 keV. No proporciona una verificación de calibración completa para confirmar la energía medida en cada punto direccionable de la escala de energía, ya que esto se realiza de acuerdo con las recomendaciones del fabricante.

ISO 17974:2002 Historia

• 2002 ISO 17974:2002 Análisis químico de superficies - Espectrómetros de electrones Auger de alta resolución - Calibración de escalas de energía para análisis elemental y de estados químicos

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