GB/T 12964-2003 (Versión en inglés)

Estándar No.: GB/T 12964-2003
Idiomas: Chino, Disponible en inglés
Fecha de publicación: 2003
Organización: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Estado: 2019-06
Remplazado por: GB/T 12964-2018
Ultima versión: GB/T 12964-2018
Reemplazar: GB/T 12964-1996

Alcance: Esta norma especifica la terminología relevante necesaria, la clasificación de productos, los requisitos técnicos, los métodos de prueba, las reglas de detección, el marcado, el embalaje, el transporte, el almacenamiento, etc. de las obleas pulidas de un solo cristal de silicio (abreviadas como obleas pulidas de silicio). Esta norma se aplica a las obleas de pulido de silicio preparadas mediante pulido de una cara después de grabar y adelgazar las obleas abrasivas monocristalinas de silicio Czochralski. Los productos se utilizan principalmente para fabricar dispositivos semiconductores como circuitos integrados o como sustratos para la deposición epitaxial de silicio.

GB/T 12964-2003 Historia