Esta norma especifica los requisitos técnicos, métodos de prueba y reglas de inspección para productos de cloro gaseoso de alta pureza utilizados en la industria electrónica. 1, embalaje de escape de 11t, marcado, transporte y almacenamiento, y requisitos de seguridad. Esta norma se aplica a productos de cloro de alta pureza producidos por adsorción física y otros procesos que utilizan cloro líquido industrial como materia prima. Este producto se utiliza principalmente en campos de alta tecnología, como circuitos integrados a gran escala, fibras ópticas, superconductores de alta temperatura y procesamiento de aluminio. Fórmula molecular: Cl2. Masa molecular relativa: 70,906 (según la masa atómica relativa internacional en 1999). Punto de ebullición a 101,3 kPa:
——34,05°C. Punto de fusión a 101,3 kPa:
——l01,0. C. Densidad del gas a 101,3 kPa y 20°C: 2.980 k9/m3.
GB/T 18994-2003 Historia
2014GB/T 18994-2014 Gases para la industria electrónica. Cloro de alta pureza.
2003GB/T 18994-2003 Gases para la industria electrónica--Cloro de alta pureza