ASTM F1261M-96(2003) Método de prueba estándar para determinar el ancho eléctrico promedio de una línea metálica recta de película delgada [métrico] normas y especificaciones

Alcance: 1.1 Este método de prueba está diseñado para determinar el ancho eléctrico promedio de una línea de metalización de película delgada estrecha. 1.2 Este método de prueba está diseñado para medir líneas de metalización delgadas como las que se usan en circuitos microelectrónicos donde el ancho de las líneas puede variar desde micrómetros hasta décimas de micrómetros.1.3 La estructura de prueba utilizada en este método de prueba puede medirse mientras aún forma parte de una oblea, o parte de ella, o como parte de un chip de prueba adherido a un paquete y accesible eléctricamente por medio de terminales del paquete.1.4 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hubiera, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.

ASTM F1261M-96(2003) Documento de referencia

1996 ASTM F1261M-96(2003) Método de prueba estándar para determinar el ancho eléctrico promedio de una línea metálica recta de película delgada [métrico]
1996 ASTM F1261M-96 Método de prueba estándar para determinar el ancho eléctrico promedio de una línea metálica recta de película delgada [métrico]