ASTM F1527-00 Guía estándar para la aplicación de materiales de referencia estándar de silicio y obleas de referencia para la calibración y control de instrumentos para medir la resistividad del silicio
1.1 Esta guía cubre la aplicación de materiales de referencia estándar (SRM) para mediciones de resistividad en obleas de silicio. Específicamente, esta guía cubre el uso de estos SRM para preparar obleas de referencia de resistividad y para garantizar la calidad de la instrumentación utilizada para prepararlas. 1.2 Esta guía no ha sido evaluada para su aplicación a materiales electrónicos distintos del silicio. 1.3 La guía cubre la selección de materiales para obleas de referencia de resistividad, procedimientos para preparar y calibrar obleas de referencia de resistividad y el uso de obleas de referencia de resistividad para calificar, calibrar y controlar varios tipos de instrumentación de resistividad. 1.4 La guía proporciona criterios para la selección de instrumentos para determinar la resistividad de los materiales de referencia de resistividad del silicio, procedimientos para mantener dichos instrumentos en control estadístico de calidad y requisitos de capacitación para los operadores involucrados en la fabricación y el uso de obleas de referencia de resistividad. 1.5 Se incluyen apéndices que cubren (1) procedimientos de gráficos de control sugeridos para organizaciones que aún no cuentan con tales procedimientos, y (2) errores en la determinación de resistividad que resultan de incertidumbres en el diámetro de la oblea, el espesor de la oblea y el espaciado entre las puntas de las sondas. 1.6 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.
2000ASTM F1527-00 Guía estándar para la aplicación de materiales de referencia estándar de silicio y obleas de referencia para la calibración y control de instrumentos para medir la resistividad del silicio