ASTM E1636-04
Práctica estándar para describir analíticamente datos de interfaz de perfil de profundidad de pulverización mediante una función logística extendida

Estándar No.

ASTM E1636-04

Fecha de publicación

2004

Organización

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Estado

Remplazado por

ASTM E1636-10

Ultima versión

ASTM E1636-10

Alcance

La información sobre la composición de la interfaz se obtiene frecuentemente midiendo la composición de la superficie mientras el material de la muestra se elimina gradualmente mediante bombardeo iónico (consulte la Guía E 1127 y la Práctica E 1162). De esta manera, las interfaces se revelan y caracterizan mediante la medición de la composición versus la profundidad para obtener un perfil de profundidad de pulverización catódica. La forma de dichos perfiles de interfaz contiene información sobre las propiedades físicas y químicas de la región de la interfaz. Para describir de forma precisa e inequívoca esta región de la interfaz y determinar su ancho (ver Guía E 1438), es necesario definir la forma de todo el perfil de la interfaz con una única función analítica. Aunque actualmente no existe un modelo físico general para describir la forma de los perfiles de profundidad de pulverización catódica de la interfaz, los perfiles de la interfaz tienen una forma sigmoidal característica de la distribución logística acumulativa. El uso de dicha función logística es físicamente plausible y es superior a otras funciones (por ejemplo, polinomios) que se han utilizado hasta ahora para el análisis del perfil de la interfaz porque contiene el número mínimo de parámetros para describir las formas de la interfaz. Se han realizado muchos intentos para caracterizar perfiles de interfaz con funciones generales (como polinomios o funciones de error), pero estos han sufrido inestabilidades y una incapacidad para manejar datos mal estructurados. La elección de la función logística junto con un procedimiento de mínimos cuadrados específicamente escrito (descrito en el Apéndice X1) puede proporcionar parámetros evaluados estadísticamente que describen el ancho, la asimetría y la profundidad de los perfiles de la interfaz de una manera reproducible e inequívoca.1.1 Esta práctica cubre una Método para analizar datos de interfaz de perfil de profundidad de pulverización catódica y para caracterizar con precisión la forma de la región de interfaz. Los datos del perfil de interfaz se describen con una función analítica adecuada; Los parámetros de esta función definen el ancho de la interfaz, su asimetría y su profundidad desde la superficie original. Se recomienda el uso de esta práctica para que las formas de los perfiles de composición de las interfaces adquiridas con diferentes instrumentos y técnicas en diferentes materiales puedan compararse e interpretarse sin ambigüedades. 1.2 Esta práctica está destinada a describir la forma de los datos del perfil de profundidad obtenidos en una interfaz entre dos materiales diferentes para el caso en el que la concentración medida del material exterior va del 100 al 0 % y el material interior va del 0 al 0 %. 100%. 1.3 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.

ASTM E1636-04 Documento de referencia

• ASTM E1127 Guía estándar para perfiles de profundidad en espectroscopía electrónica de Auger
• ASTM E1162 Práctica estándar para informar datos del perfil de profundidad de pulverización catódica en espectrometría de masas de iones secundarios (SIMS)
• ASTM E1438 Guía estándar para medir anchos de interfaces en perfiles de profundidad de pulverización catódica utilizando SIMS
• ASTM E673 Terminología estándar relacionada con el análisis de superficies

ASTM E1636-04 Historia

• 2010 ASTM E1636-10 Práctica estándar para describir analíticamente datos de perfil de profundidad y perfil de escaneo lineal mediante una función logística extendida
• 2004 ASTM E1636-04 Práctica estándar para describir analíticamente datos de interfaz de perfil de profundidad de pulverización mediante una función logística extendida
• 1994 ASTM E1636-94(1999) Práctica estándar para describir analíticamente datos de interfaz de perfil de profundidad de pulverización mediante una función logística extendida