ASTM F1152-93(2001)
Método de prueba estándar para dimensiones de muescas en obleas de silicio

Alcance: 1.1 Este método de prueba cubre un procedimiento no destructivo para determinar si las dimensiones de las muescas fiduciales en las obleas de silicio se encuentran dentro de los límites especificados.

1.2 Los valores indicados en unidades SI deben considerarse como estándar. Los valores entre paréntesis son sólo para información.

1.3 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.

ASTM F1152-93(2001) Documento de referencia

ASTM E122 Práctica estándar para calcular el tamaño de la muestra para estimar, con un error tolerable especificado, el promedio de la característica de un lote o proceso*， 2000-10-10 Actualizar

2002 ASTM F1152-02 Método de prueba del tamaño de la muesca de la oblea de silicio
1993 ASTM F1152-93(2001) Método de prueba estándar para dimensiones de muescas en obleas de silicio
1993 ASTM F1152-93 Método de prueba estándar para dimensiones de muescas en obleas de silicio