ASTM E827-08
Práctica estándar para identificar elementos por los picos en espectroscopía electrónica Auger

Estándar No.

ASTM E827-08

Fecha de publicación

2008

Organización

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Ultima versión

ASTM E827-08

Alcance

El análisis Auger se utiliza para determinar la composición elemental de las primeras capas atómicas, típicamente de 1 a 5 nm de espesor, de la superficie de una muestra. En combinación con la pulverización catódica de iones de gas inerte, se utiliza para determinar el perfil de profundidad de la pulverización catódica hasta una profundidad de unos pocos micrómetros. La muestra es normalmente un conductor sólido, semiconductor o aislante. Para los aisladores, es posible que se requieran disposiciones para el control de la acumulación de carga en la superficie (consulte la Guía E 1523). Las aplicaciones típicas incluyen el análisis de contaminantes superficiales, depósitos de películas delgadas o capas superpuestas segregadas sobre sustratos metálicos o de aleaciones. La topografía de la muestra puede variar desde una muestra lisa y pulida hasta una superficie de fractura rugosa. El análisis Auger de muestras con especies volátiles que se evaporan en el entorno de vacío ultraalto de la cámara Auger y sustancias que son susceptibles a daños por rayos X o electrones, como compuestos orgánicos, pueden requerir técnicas especiales que no se tratan en este documento. (Ver Guía E 983.) 1.1 Esta práctica describe los pasos necesarios para la identificación de elementos en un espectro Auger determinado obtenido utilizando espectrómetros de electrones convencionales. Se consideran los espectros mostrados como la distribución de energía de los electrones (espectro directo) o la primera derivada de la distribución de energía de los electrones. 1.2 Esta práctica se aplica a los espectros Auger generados por bombardeo de electrones o rayos X de la superficie de la muestra y puede extenderse a espectros generados por otros métodos, como el bombardeo iónico. 1.3 Los valores indicados en unidades SI deben considerarse estándar. No se incluyen otras unidades de medida en esta norma. 1.4 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.

ASTM E827-08 Documento de referencia

• ASTM E1523 Guía estándar para técnicas de control de carga y referencia de carga en espectroscopia de fotoelectrones de rayos X
• ASTM E673 Terminología estándar relacionada con el análisis de superficies
• ASTM E983 Guía estándar para minimizar los efectos no deseados del haz de electrones en la espectroscopía de electrones Auger
• ASTM E984 Guía estándar para identificar efectos químicos y efectos de matriz en espectroscopía electrónica Auger

ASTM E827-08 Historia

• 2008 ASTM E827-08 Práctica estándar para identificar elementos por los picos en espectroscopía electrónica Auger
• 2007 ASTM E827-07 Práctica estándar para identificar elementos por los picos en espectroscopía electrónica Auger
• 2002 ASTM E827-02 Práctica estándar para identificar elementos por los picos en espectroscopía electrónica Auger
• 1995 ASTM E827-95 Práctica estándar para identificar elementos por los picos en espectroscopía electrónica Auger