Este documento define términos que se relacionan con las tecnologías básicas utilizadas para la producción de microsistemas. Su objetivo es facilitar la comunicación sobre cuestiones técnicas mediante la armonización del vocabulario.#,,#
DIN 32564-2:2004 Historia
2004DIN 32564-2:2004-05 Equipos de producción para microsistemas - Términos y definiciones - Parte 2: Tecnologías básicas y producción
2004DIN 32564-2:2004 Equipos de producción para microsistemas - Términos y definiciones - Parte 2: Tecnologías básicas y producción