SJ 20984-2008 (Versión en inglés)

Alcance: Esta especificación especifica los requisitos, las regulaciones de garantía de calidad y la preparación de entrega para el equipo de deposición química de vapor. Esta especificación se aplica a los equipos de deposición química de vapor para el desarrollo y producción de dispositivos optoelectrónicos y microelectrónicos en la industria electrónica. También se pueden implementar equipos similares en otras industrias como referencia.

SJ 20984-2008 Documento de referencia

GB 5226.1-2002 Seguridad de las máquinas--Equipos eléctricos de las máquinas--Parte 1: Requisitos generales
GB/T 13384-1992 Especificaciones generales para embalajes de productos mecánicos y eléctricos.
GB/T 17626.1-1998 Compatibilidad electromagnética Técnicas de prueba y medición Descripción general de las pruebas de inmunidad
GB/T 191 Embalaje. Marcado pictórico para manipulación de mercancías.
GB/T 5080.7-1986 Pruebas de confiabilidad del equipo: planes de prueba de cumplimiento para la tasa de fallas y el tiempo medio entre fallas suponiendo una tasa de fallas constante.
GB/T 6388 Marca de envío del paquete de transporte
SJ 1276-1977 Requisitos técnicos para la inspección de calidad de recubrimientos metálicos y capas tratadas químicamente.
SJ/T 10674-1995 Especificación genérica para recubrimiento con capa.
SJ/T 37-1996 Redacción de modelos y métodos de designación de equipos especiales para la industria electrónica.

2008 SJ 20984-2008 Especificaciones generales para equipos de deposición química de vapor (CVD)