EN 62047-3:2006
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos Parte 3: Pieza de prueba estándar de película delgada para pruebas de tracción

Estándar No.

EN 62047-3:2006

Fecha de publicación

2006

Organización

European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）

Ultima versión

EN 62047-3:2006

EN 62047-3:2006 Historia

• 2006 EN 62047-3:2006 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos Parte 3: Pieza de prueba estándar de película delgada para pruebas de tracción