GB/T 4058-2009
Método de prueba para la detección de defectos inducidos por la oxidación en obleas de silicio pulidas. (Versión en inglés)

Estándar No.

GB/T 4058-2009

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

2009

Organización

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Ultima versión

GB/T 4058-2009

Reemplazar

GB/T 4058-1995

Alcance

Esta norma especifica el método de inspección para detectar defectos de bordado con óxido de pulido de silicio. Esta norma se aplica a la detección de defectos de cristal bordados o mejorados en la superficie de obleas pulidas de silicio en el proceso de oxidación simulado del dispositivo. También se puede hacer referencia a este método para la inspección de defectos de bordado de óxido monocristalino de silicio.

GB/T 4058-2009 Documento de referencia

• GB/T 14264 Materiales semiconductores-Términos y definiciones
• GB/T 1554 Método de prueba para la perfección cristalográfica del silicio mediante técnicas de grabado preferencial.
• YS/T 209 Mapa de defectos in situ de materiales de silicio.

GB/T 4058-2009 Historia

• 2009 GB/T 4058-2009 Método de prueba para la detección de defectos inducidos por la oxidación en obleas de silicio pulidas.
• 1995 GB/T 4058-1995 Método de prueba para la detección de defectos inducidos por la oxidación en obleas de silicio pulidas.